Dielectric films for advanced microelectronics

• Tác giả: Mikhail Baklanov, Martin Green, Karen Maex
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0470013605
• ISBN-13: 978-0470013601
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Chichester, England ; Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2007
• Mô tả vật lý: xxii, 486 p. : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 106477
• Chủ đề: 1. Dielectric films; 2. Microelectronics--Materials

Includes bibliographical references and index.