Nanolithography and patterning techniques in microelectronics

• Tác giả: David G Bucknall
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0849334470
• ISBN-10: 1845690907
• ISBN-10: 1855739313
• ISBN-13: 978-1855739314
• Ký hiệu phân loại: 621.3815 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Cambridge : Boca Raton, FL : Woodhead Pub. ; CRC Press, 2005
• Mô tả vật lý: xiv, 409 p. : , ill. ; , 24 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 107965
• Chủ đề: 1. Nanolithography; 2. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.