Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử

• Tác giả: Nguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu
• Ngôn ngữ: vie
• Ký hiệu phân loại: 621.38153 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Hà Nội : Bách Khoa Hà Nội, 2007
• Mô tả vật lý: 340 tr. ; , 24 cm
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 19383
• Chủ đề: 1. Mạch vi điện tử--Công nghệ chế tạo

Tóm tắt

 
   - Chương 1: Nhập môn chế tạo mạch vi điện tử
 
   - Chương 2: Vật liệu bán dẫn
 
   - Chương 3: Khuyếch tán
 
   - Chương 4: Oxy hoá nhiệt
 
   - Chương 5: Cấy ion
 
   - Chương 6: Xử lý nhiệt nhanh
 
   - Chương 7: Khắc và ăn mòn
 
   - Chương 8: Các phương pháp vật lý tạo màng mỏng: bay hơi phún xạ
 
   - Chương 9: Kết tủa hoá học bay hơi
 
   - Chương 10: Epitaxy
 
   - Chương 11: Công nghệ CMOS
 
   - Chương 12: Công nghệ MESFET
 
   - Chương 13: Công nghệ lưỡng cực silic.