Introduction to microfabrication

• Tác giả: Sami Franssila
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN: 0470851058 (cloth)
• ISBN: 0470851066 (pbk.)
• Ký hiệu phân loại: 621.3 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ : J. Wiley, c2004.
• Mô tả vật lý: xvii, 401 p. : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 272700
• Chủ đề: 1. Electronic apparatus and appliances; 2. Microelectromechanical systems; 3. Microfabrication

Includes bibliographical references and index.