MEMS : introduction and fundamentals

• Tác giả: Mohamed Gad-el-Hak
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN: 0849321069 (set : alk. paper)
• ISBN: 0849391377 (alk. paper)
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Boca Raton : CRC/Taylor & Francis, 2006.
• Mô tả vật lý: 1 v. (various pagings) : , ill. ; , 26 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 277868
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems; 2. Microelectronics; 3. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.