Microelectromechanical systems : advanced materials and fabrication methods

• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0309058856
• ISBN-10: 0309059801
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: Washington, DC : National Academy Press, 1997
• Mô tả vật lý: xiv, 61 p. : , ill. ; , 28 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 48566
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems--Design and construction; 2. Microelectronics--Materials

Includes bibliographical references (p. 51-55)