Glancing angle deposition of thin films : engineering the nanoscale

• Tác giả: Michael J Brett, Matthew M Hawkeye, Michael T Taschuk
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-13: 978-1118847565
• Ký hiệu phân loại: 621.3815 Electrical, magnetic, optical, communications, computer engineering; electronics, lighting
• Thông tin xuất bản: Chichester, West Sussex, United Kingdom : John Wiley & Sons Inc., 2014
• Mô tả vật lý: pages cm
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 106793
• Chủ đề: 1. Chemical vapor deposition; 2. Nanoelectromechanical systems--Design and construction; 3. Nanotechnology

Includes bibliographical references and index.