Microfabrication and nanomanufacturing

• Tác giả: Mark J Jackson
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0824724313
• Ký hiệu phân loại: 620.5 Nanotechnology
• Thông tin xuất bản: Boca Raton, FL : Taylor & Francis, 2006.
• Mô tả vật lý: 401 p. : , ill. ; , 27 cm.
• Bộ sưu tập: Khoa học ứng dụng
• ID: 40747
• Chủ đề: 1. Electronic books; 2. Integrated circuits--Design and construction; 3. Microelectromechanical systems--Design and construction; 4. Microelectronics

Includes bibliographical references and index.